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什么是SECS/GEM?
答:SECS/GEM是半导体行业用于设备(Equipment)与上层控制系统(Host)之间通信的标准协议和接口。
它由SEMI Equipment Communication Standard (SECS) 和 Generic Equipment Model (GEM) 组成,旨在实现对设备的操作控制、数据收集以及参数调整等功能。
SECS/GEM的主要功能有哪些?
答:SECS/GEM标准详细定义了如何通过该协议来执行如下操作:
- 对设备发送启动或停止指令
- 收集设备的测量数据
- 修改工艺参数
- 选择和应用配方
在实际应用中,SECS/GEM涉及哪两个主要角色?
答:在SECS/GEM的实施过程中,存在两方参与者:
- 主机(Host):通常是工厂的制造执行系统(MES)或中央集成制造系统(CIM)控制中心,运行能够与设备通信的软件。
- 设备(Equipment):在生产设备内部运行符合SEMI E30标准的软件,以实现与主机的通讯接口。
为什么在工业4.0背景下需要SECS/GEM这样的通信协议?
答:为了适应工业4.0的需求,即实现高度自动化和智能化生产环境,CIM控制中心与其他设备间必须具备高效的双向通信能力。SECS/GEM协议提供了一个标准化的通信接口,确保不同设备之间的互联互通性,有助于实现智能制造中的信息互换和协同作业。
SECS/GEM 架构图
什么是设备主动模式和被动模式?
答:在SECS/GEM通信中,设备的主动模式意味着该设备会发起与主机之间的TCP/IP连接请求,主动去连接预设的主机IP地址和端口号。
o相反,被动模式则是设备等待来自主机的连接请求,设备本身开放一个特定的端口来接收连接。
如何配置主动模式下的设备?
答:若设备配置为主动模式,需要在设备设置界面输入主控系统(主机)的IP地址以及主机监听的端口号,以便设备能够正确地连接到主机。
如何配置被动模式下的设备?
答:如果设备被配置为被动模式,则需要在设备上指定一个本地端口,这个端口将用于接收来自主机的连接请求。
设备端和主机端的连接模式应该如何配合?
答:设备端和主机端的连接模式必须相互对应,即如果设备选择主动模式,那么主机必须设置为被动模式以等待设备的连接;
而当设备设置为被动模式时,主机则必须切换为主动模式,主动去连接设备的指定端口。
什么是Status Variable (SV)?
答:Status Variable(状态变量,简称SV)在SECS/GEM通信协议中代表设备的状态信息。这些信息通常是只读的,用于反映设备当前的操作状态、工作模式或故障状态等。
Data Variable Values (DVVAL) 的含义是什么?
答:Data Variable Values(数据变量值,简称DVVAL)是指在半导体制造过程中由设备产生的实际测量或计算的数据结果,例如生产过程中的温度、压力、速度等实时参数。这些数据同样也是只读的,用于监控和记录设备运行时的关键指标。
Equipment Constant Values (ECV) 是什么?
答:Equipment Constant Values(设备常数值,简称ECV)指的是设备内部预设的一些可读可写的参数值或配置选项。它们可能包括设备的各种设定值、配方参数、控制参数等,可以根据需要由上位机系统通过SECS/GEM协议进行读取或者修改,以适应不同的工艺要求或优化设备性能。
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