RSQ，RPV含义

fab提供的map如下：
conducting_layers
  POLY1          poly    RPSQ=7.85
  METAL1        metal1  RPSQ=0.11
  METAL2        metal2  RPSQ=0.065
  METAL3        metal3  RPSQ=0.065
  METAL4        metal4  RPSQ=0.065
  METAL5        metal5  RPSQ=0.065
  METAL6        metal6  RPSQ=0.0202
via_layers
   CONT      polyCont            AREA=0.0256 RPV=11
  VIA12          via1                 AREA=0.0361 RPV=1.0
  VIA23          via2                 AREA=0.0361 RPV=1.0
  VIA34          via3                 AREA=0.0361 RPV=1.0
  VIA45          via4                 AREA=0.0361 RPV=1.0
  VIA56         via5a                AREA=0.1296 RPV=0.45

 

RPSQ和RPV
resistor per square
resistor per via