[ Process ] NBL 的浓度变化

https://www.cnblogs.com/yeungchie/

健哥语录

• NBL 呈中心高浓度，边缘极低浓度。

• NBL 最开始的浓度是最高的，最后 NBL 周围的浓度最低。

• NBL 的层次最深，浓度也最高，但经过多次退火使 NBL 呈现中心高浓度，边缘由于不断延伸浓度逐渐降到最低（多次退火使 NBL 不断延伸耗尽）。

• NBL 间距 rule 一般都很大，边缘的极低浓度得以实现很高的耐压。