摘要：
SECS/GEM 简介 本指南旨在为初学者提供 SECS/GEM 及其在半导体行业中的应用的概述教程和基本介绍。这无意替代或作为标准的完整参考。有关标准的完整参考，请参阅SEMI。 什么是 SECS/GEM？ SECS（SEMI Equipment Communication Standards / 阅读全文
摘要：
GEM300 标准简介 在开发 300mm 晶圆之前，SEMI SECS-II E5 和 GEM E30 是使 IC 制造商能够通信和控制晶圆加工设备的初始标准。 随着更大更重的 300 毫米晶圆和更小的芯片拓扑结构的引入，操作员装载或卸载材料变得不切实际，并面临污染风险。因此，半导体工厂需要进行重 阅读全文