摘要：
1D线掩模：全3D计算域 首先，使用包含吸收体结构和多层反射镜的3D计算域重新审视EUV线掩模。图5显示了对几何体进行离散化的网格（使用网格生成器JCMgeo自动生成）。对于三维设置，网格由棱柱形元素组成（而不是二维设置中的三角形元素）。使用不同的空间网格对相同的物理设置进行了模拟，网格分辨率增加， 阅读全文
摘要：
对具有二维周期性吸收体图案的极紫外光刻掩模的光散射进行了模拟。在一项详细的收敛研究中，表明在相对较大的3D计算域以及存在侧壁角度和拐角圆角的情况下，可以获得准确的结果。 材料和参数设置 所研究的结构由多层反射镜上的吸收器堆叠组成（共120层）。图1显示了几何形状的3D网格和电池组一部分中的典型电场分 阅读全文
摘要：
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