2021年6月11日
Atomic Layer Deposition原子层沉积技术
摘要： Atomic Layer Deposition原子层沉积技术 原子层沉积技术（Atomic Layer Deposition）是一种原子尺度的薄膜制备技术。可以沉积均匀一致，厚度可控、成分可调的超薄薄膜。随着纳米技术和半导体微电子技术的发展，器件和材料的尺寸要求不断地降低，同时器件结构中的宽深比不断 阅读全文
posted @ 2021-06-11 05:56 吴建明wujianming 阅读(2564) 评论(0) 推荐(0) 编辑