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视频资料 https://www.bilibili.com/video/BV1UW421A7kb?t=23.6

在半导体行业,SECS/GEM(Semiconductor Equipment Communication Standard / Generic Equipment Model)协议中,“配方”(Recipe)是一个关键概念,它指的是设备进行特定工艺步骤时所需的一组详细参数集合。这些参数可能包括温度、压力、气体流量、时间周期等,决定了设备如何执行特定的生产过程,如薄膜沉积、光刻或蚀刻等。

“PPID”(Process Parameter ID 或 Process Program ID)是与配方相关的术语,在SECS/GEM通信中通常用来标识一个具体的配方。每个PPID对应一个独一无二的工艺程序或者配方版本,当设备从制造执行系统(MES)接收指令时,会根据提供的PPID来调用相应的配方数据,并按照这些数据配置和控制设备执行相关操作。

作用上,PPID的主要作用有:

配方选择与加载:通过传输指定的PPID,设备可以准确无误地加载并应用正确的工艺配方。
版本控制:不同的PPID可以帮助实现不同产品型号、批次或改进工艺的区分和管理,确保在生产过程中使用的是经过验证和批准的最新或指定版本的工艺参数。
追溯性:记录和追踪生产过程中的具体使用的PPID有助于实现生产过程的追溯性和质量保证体系。
因此,在SECS/GEM通信中,PPID起到了确保设备精确执行预设工艺流程的关键作用,对于提高生产效率、保证产品质量以及满足严格的质量管理体系要求至关重要。

 ① 获取所有配方编号

  ② 通过配方编号删除配方

 ③ 获取指定配方PPID资料明细

 ④ 上传配方到设备资料库,以在生产下达指令时使用对应的PPID 

posted @ 2024-05-29 08:37  心怡3624  阅读(52)  评论(0编辑  收藏  举报