摘要： 
突破1纳米制程的光刻机问世 最近，科技界有一条消息刷屏：是美国的一家科技公司（Zyvex Labs），在9月21号宣布推出了目前世界上分辨率最高的电子束光刻设备（ZyveLitho1）。这款设备可以以约0.8纳米的分辨率，对硅片进行加工。要知道，台积电在上个月才宣布，到2025年才能量产2纳米工艺芯 阅读全文
突破1纳米制程的光刻机问世 最近，科技界有一条消息刷屏：是美国的一家科技公司（Zyvex Labs），在9月21号宣布推出了目前世界上分辨率最高的电子束光刻设备（ZyveLitho1）。这款设备可以以约0.8纳米的分辨率，对硅片进行加工。要知道，台积电在上个月才宣布，到2025年才能量产2纳米工艺芯 阅读全文