摘要： SEMI SECS/GEM标准概述 SECS/GEM是由国际半导体设备与材料协会（SEMI）的会员一起构建的连接性标准。 该标准应用于在设备和工厂的MES,CIM等控制系统间建立通讯。 SECS/GEM是SEMI中的半导体设备通讯标准 一般来说，SECS/GEM标准定义了信息、状态机和情境，设备与工 阅读全文