C#_半导体行业-SECS/GEM协议

一、概念

SECS/GEMI 标准（制造设备通信和控制的通用模型）指的是一组用于半导体行业“设备与设备”之间或“设备与工厂主机系统”之间通信的国际标准协议，由国际半导体协议SEMI发起并维护。SECS基于其他较低级别的协议，如下：

1、SECS-II与SECS-I、HSMS的关系：

协议名称	用途
SECS-I	定义 RS-232 通信的标准（报文）
HSMS	定义 TCP/IP 通讯的标准（报文）
SECS-II	定义交换消息的标准

2、SECS/GEMHSMS协议报文分析

注：req：请求；rsp：回应。

报文详细解析见：https://blog.csdn.net/baidu_38174627/article/details/122770726;以下是博文备份。

（1）数据长度

占4个字节，每个字节都是存储的16进制的数据。

（2）报文头信息

（3）数据信息

3、SECS指令（S：Stream编号，F：功能编号）

SECS/GEM协议协议使用“SECS指令”进行通讯；发送者发送奇数，响应者响应偶数，如：“发送者发送S1F1，响应者响应S1F2”。

（1）Stream编号含义

Stream编号	代表的含义	Stream编号	代表的含义
1	设备状态	2	设备控制与诊断I
3	原料状态	4	原料控制
5	意外处理	6	数据采集
7	加工程序控制	8	控制程序传输
9	系统错误	10	终端服务
11	主机文件服务	12	晶元定位
13	数据集传输	14	对象服务
15	配方管理	16	加工管理
17	设备控制与诊断II	18	子系统控制与数据

（2）常用指令

① 原文

② 中文翻译（

注：① send翻译的不好，有些感觉是“切换控制命令的意思”，有些是“请求的意思”，等我确认后再更新翻译；

② 该文档不是最新的文档，最新文档内容还多；我会把手里新版指令截图放在文章末尾。

发送者发送的指令	代表的含义	发送者发送的指令	代表的含义
S1F1	询问是否可连接（使用S1F2应答是否可连接）	S7F1	进程程序加载查询
S1F3	请求设备状态	S7F3	发送加工程序
S1F5	请求Formatted(格式化)状态	S7F5	请求加工程序
S1F7	请求Fixed()状态	S7F7	请求加工程序ID
S1F9	请求原料传输状态	S7F9	请求原料或工艺路线
S1F11	请求变量名称列表	S7F11	发送原料或工艺路线
S1F13	请求建立通信	S7F13	发送原料或工艺路线入口
S1F15	请求离线	S7F15	发送工艺路线Mode
S1F17	请求在线	S7F17	删除加工程序
S1F19	获取属性	S7F19	请求当前设备的加工程序的资料
S1F23	查询可用事件列表(新版本内容)
S2F1	查询 Service程序负载	S7F21	获取设备加工程序能力
S2F3	请求发送Service程序	S7F23	发送格式化加工程序的命令
S2F5	请求 Service程序加载	S7F25	请求格式化加工程序
S2F7	请求 Service程序运行	S7F27	发送加工程序验证
S2F9	请求 Service程序运行结果	S7F29	查询加工程序验证结果
S2F11	获取 Service程序的资料	S7F31	发送加工程序验证请求
S2F13	请求设备常量Constant	S7F33	请求可用的加工程序
S2F15	发送新设备常量Constant	S7F35	请求 Mid$的加工程序
S2F17	请求数据和时间	S8F1	请求启动程序
S2F19	请求重置或初始化	S8F3	请求执行程序
S2F21	请求远程控制	S9F1	无法识别的设备Id
S2F23	请求初始化Trace(跟踪)	S9F3	无法识别的Stream类型
S2F25	请求回路诊断	S9F5	无法识别的Function类型
S2F27	启动处理请求	S9F7	非法数据
S2F29	请求设备常量名称列表	S9F9	事务计时器超时
S2F31	请求日期和时间设置	S9F11	数据太长
S2F33	定义报告	S9F13	对话超时
S2F35	给事件设定事件组	S10F1	请求终端
S2F37	订阅/退订事件	S10F3	终端单个显示
S2F39	多块(Multi-block)查询	S10F5	终端Multi-block(多个)显示
S2F41	发送 Host主机命令	S10F7	不允许Multi-block(多块)
S2F43	重置后台Streams和Functions	S10F9	广播 Map设置的数据
S2F45	定义可变的限制属性	S12F1	发送 Map设置的数据
S2F47	请求可变的限制属性	S12F3	请求 Map设置的数据
S2F49	请求创建数据报告	S12F5	查询 Map传输
S2F51	请求删除数据报告	S12F7	Map数据发送类型1
S2F53	请求创建Trace(跟踪)	S12F9	Map数据发送类型2
S2F55	请求删除Trace(跟踪)	S12F11	Map数据发送类型3
S2F57	请求收集 Link (连接)事件	S12F13	Map数据请求类型1
S2F59	请求收集 UnLink (断开连接)事件	S12F15	Map数据请求类型2
S2F61	请求重置 Trace(跟踪)	S12F17	Map数据请求类型3
S2F63	请求强制远程控制	S12F19	Map错误报告
S3F1	请求原料状态	S13F1	发送数据集发送
S3F3	请求完成时间	S13F3	请求打开数据集
S3F5	发现原料通知	S13F5	请求读取数据集
S3F7	原料丢失通知	S13F7	关闭数据集发送
S3F9	原料ID EquateSend	S13F9	重置数据集发送
S3F11	请求原料ID	S13F11	查询数据集多块
S3F13	发送原料ID	S13F13	发送表格数据
S4F1	准备发送原料	S13F15	请求表格数据
S4F3	发送原料	S14F1	请求获取Attr
S4F5	握手完成	S14F3	请求设置Attr
S4F7	未准备好发送	S14F5	请求获取类型(GetType)
S4F9	卡在发送端	S14F7	GetType 的数据
S4F11	卡在接收端	S14F9	请求创建 Object
S4F13	发送超时	S14F11	请求删除 Object
S4F15	接收到的原料	S14F13	请求附加对象
S4F17	请求接收	S14F15	请求附加的Object
S4F19	创建 Transfer Job（转移）	S14F17	请求监督对象
S4F21	控制 Transfer Job（转移）	S15F1	查询 Multi-Block(多块)配方管理
S4F23	Transfer Job（转移）报警	S15F3	请求操作配方的命名空间
S4F25	多块(Multi-block)查询	S15F5	请求重命名配方的命名空间
S4F27	切换(Handoff )就绪	S15F7	请求配方空间(RecipeSpace)
S4F29	切换(Handoff )命令	S15F9	请求配方状态
S4F31	切换(Handoff )命令完成	S15F11	请求重命名配方的命名空间
S4F33	切换(Handoff )已验证	S15F13	请求创建配方
S4F35	切换(Handoff )取消就绪	S15F15	请求存储配方
S4F37	切换(Handoff )取消就绪确认	S15F17	请求检索配方
S4F39	切换(Handoff )停止	S15F19	请求重命名配方
S4F41	切换(Handoff )停止确认	S15F21	请求操作配方
S5F1	发送报警报告	S15F23	请求配方描述符
S5F3	启用或禁用报警	S15F25	更新配方参数范围
S5F5	请求报警列表	S15F27	请求下载配方
S5F7	请求已启用的报警列表	S15F29	请求验证配方
S5F9	发送异常报警	S15F31	请求卸载配方
S5F11	清除异常报警	S15F33	请求选择配方
S5F13	请求异常恢复	S15F35	请求删除配方
S5F15	异常恢复完成通知	S15F37	请求批准 DRNS分割行为
S5F17	中止异常恢复请求	S15F39	请求分割 DRNS记录器
S6F1	发送 Trace(跟踪)数据	S15F41	请求修改 DRNS记录器
S6F3	发送离散型变量数据	S15F43	请求获取DRNS变更
S6F5	查询 “发送的多块(Multi-block)数据”	S15F45	请求批准DRNS变更
S6F7	请求“数据传输”	S15F47	请求重建DRNS管理器
S6F9	发送“Formatted(格式化)变量”	S16F1	查询多块(Multi-block)加工程序数据
S6F11	发送事件报告（设备上传数据）	S16F3	请求创建加工程序
S6F13	发送注释事件报告	S16F5	请求控制加工程序
S6F15	请求事件报告	S16F7	加工程序警告通知
S6F17	请求注释事件报告	S16F9	加工程序事件通知
S6F19	请求特定报告	S17F1	请求创建数据报告
S6F21	请求带注释的个人报告请求	S17F3	请求删除数据报告
S6F23	请求后台数据	S17F5	请求创建Trace(跟踪)
S6F25	发送通知报告	S17F7	请求删除Trace(跟踪)
S6F27	发送 Trace(跟踪)报告	S17F9	请求收集 Link(链接)事件
S6F29	请求 Trace(跟踪)报告	S17F11	请求收集 UnLink(断开连接)事件

（3）TimeOut

	T1	T2	T3	T4	RTY
SEMI标准（秒）	0.5	10	45	45	3(次)
含义		握手超时	Primary信息发送后等待回复超时		超时后可以重试的次数
范围（秒）	0.1~10	0.2~25	1~120	1~120	0~31(次)

4、SECS/GEM协议调试软件

① 仿真软件1(本实例演示)：SEComSimulator（美国AIM Systems公司的基于C#开发的SECS标准协议模拟器；咸鱼搜索执笔小白）

② 仿真软件2：SECS-Simulator(其他公司开的Java版；备份下载地址：PCtoLCD2002完美版.zip)

（1）软件中出现的关键字如下：

Host/Local：主机模式与本地模式
Remote：远程模式（RCMD）
Passive/Active：服务器与客户端
EQP：设备
Device ID：设备标识
VID：设备变量ID
SVID：设备状态ID（key-value，如：1000代表‘一号轮子的转速’）

// 1 举例：如定义1000代表轮子1的转速；1001代表轮子2的转速；
// 1.1 主机请求写法(给我变量1000(轮子1的转速)和1001的值(轮子2的转速))：
S1F3 W
L<2,
   <U4,1 1000>
   <U4,1 1001>
 >.
// 1.2 设备回复写法（轮子1为800转速；轮子2为600转速）:
S1F4
L <2,
    <U4,1,800>
    <U4,1,600>
 >.

RPTID：报告编号

CEID：事件编号（事件为设备主动给主机推送数据；一个事件中可以包含多个报告）

// 1 举例：如有一个事件(ID为3000)需要通知主机，这个事件(ID3000)中有一个报告（ID2000），报告2000中有一个变量（1000）)
// 1.1 设备发送写法(解释如下)：
S6F11 W
<L,3  // 长度3
    <U4,1,0>    // 是当事件需要多次发送时，需要的唯一标识
    <U4,1,3000>  // 事件（CEID）
    <L,1         // 事件中的报告List（RPTID ）
        <L,2             // 报告List的长度
           <U4,1,2000>    // 报告ID
           <L,1            // 报告ID的长度
               <U4,1,120>  // 变量ID（SVID）的值
           >
        >
    >
 >.
// 1.2 主机回复写法（我收到了）
S6F12 
<B,1,0>