chemkin表面反应机制文件(Ansys-CHEMKIN-pro表面反应机制输入)
1. 文件包含表面活性位（相）、表面组分，固相组分、固相，热力学数据，反应机制；
2. 顺序：物质名称，活性位数据，固相数据，热力学数据，反应数据，end；
3. 参加反应的所有的组分都需要预先定义好，并与热力学数据库中的名称一致；
4. 定义物质：以MATERIAL开头 材料名 END结束；
MATERIAL WAFER
SITE/POLY/ SDEN/2.25e-9/
SI(S) SICL(S) SICL2(S) SICL3(S)
END
BULK SI(B)/2.33/
REACTIONS MWOFF
CL + SI(S) => SICL(S) 1.0 0.0 0.0
STICK
E + CL2+ + 2SI(S) => 2SICL(S) 0.4 0.0 0.0
BOHM
E + CL+ + SICL3(S) + SI(B) => SICL4 + SI(S) 0.50 0.0 0.0
BOHM
ENRGDEP/1. 0.5 1.0/ UNITS/EVOLT/
E + CL+ + #SICL3(S) + #SI(B) + SICL(S) &
=> SICL2(S) + #SICL2 + #SICL(S) 0.50 0.0 0.0
BOHM
YIELD/0.0712 1.21 0.5 1.0/ UNITS/EVOLT/
! /A Eth[eV] a b / for #=A(Ei^a-Eth^a)^b
END
MATERIAL WALL
SITE/METAL/ SDEN/2.25E-9/
AL(S) ALCL(S)
END
REACTIONS MWOFF
CL+ + E => CL 0.6 0.0 0.0
BOHM
CL + AL(S) => ALCL(S) 1.0 0.0 0.0
STICK
END
5. 活性位数据：以SITE开头 SITE名（可省略） SDEN（标准态密度 mole/cm2），SITE名及组分名称不能和气相和固相组分相同，组分命名规则同气相组分规则。用END结束。
6. 固相数据：以BULK开头，/BULK名（可省略）/，固相组分，固相密度（g/cm3）（如果不需要密度，可用-1代替）
BULK / GA_RICH / GA2AS(1)/3.0/ GA3AS(1)/3.0/ END
!an END statement is optional
BULK / GA_RICH /
GA2AS(1)/3.0/
GA3AS(1)/3.0/
GA2AS(1)/2.0/ !THIS NAME IS A DUPLICATE AND WILL BE IGNORED
BULK AS(B) !BULK PHASE WITH NO NAME SUPPLIED
!ONLY ONE BULK SPECIES AND NO DENSITY SUPPLIED
END
7. 热力学数据：用于平衡计算，缺少某组分的热力学数据时，可以用半经验公式，或者将反应定义成不可逆，定义假想的数据代替；
8. 反应机制：默认很多规则同气相反应，如单位，反应形式等。
9. 特殊关键词：
ATM, BAT, PASCALS, TOR: 压力单位
CAL/mole, EVOLTS, JOULES/mole, KCAL/mole KEVLINS KJOULES/mole: Ei单位
DYNES: Ai单位为dyne/cm2
MOLECULES, MOLES: Ai单位
MWOFF, MWON： 关闭或打开Motz-Wise修正
NONCON: 允许使用non-conservation活性位
SITEFR: Ai单位为1/sec
USRPROD：用户自定义
10. 反应数据：长度不超过80个字符，链接上一行用’&’符等规则。
11. 特殊关键词：
BOHM： 离子Bohm速度限制
CL+ + E => CL 0.4 0.0 0.0
BOHM
COV： 覆盖依赖反应
O(S) +O(S) =>Pt(S) +Pt(S) +O2 3.700E+23 0.0 213.0
COV/O(S) 0.0 0.0 -93.3/ !name nki uki eki
DCOL： 反应速率与碰撞频率成比例关系
A1 + 8H(se) => 5H(se) + 6C(B) + 3open(se) + 4H2 + H 0.1 0.0 0.0
FORD/H(se) 2.0/
DCOL/2.46E-8/
STICK
DUP： 重复定义反应，同气相反应
ENRGDEP： 电离能依赖反应Ion-energy Dependent Rates
E + CL+ + SICL3(S) + SI(B) => SICL4 + SI(S) 0.50 0.0 0.
BOHM
ENRGDEP/1. 0.5 1.0/ UNITS/EVOLT/
FORD,RORD ： 反应级数，同气相反应
LANG：Langmuir-Hinshelwood反应参数（K=A * T^b * exp(-H/RT)）
C6H5CH3 + H2 => C6H6 + CH4 2.507E-8 0.0 0.0 ! rate at 600C
LANG /C6H6 1.26 0.0 0.0 1.0/ !name A b H 反应级数
LANG /C6H5CH3 1.01 0.0 0.0 1.0/
LHDE /1/
LHNU /C6H5CH3/
LHPR /atm/
LHDE Langmuir-Hinshelwood分母指数参数，默认值2
LHNU 允许使用LANG计算平衡常数
LHPR 允许在给定的压力单位下使用LANG计算平衡常数
NUCL 反应速率用nucleation reaction rate expression计算
2A4 => 32C(B) + 20 H(se) + 28.72 open(se) 1.0E10 0.5 0.0
NUCL
REV 反向反应常数，同气相反应
STICK： 粘性系数，定义的常数被替换为 a b c
A1 + 8H(se) => 5H(se) + 6C(B) + 3open(se) + 4H2 + H 0.1 0.0 0.0
FORD/H(se) 2.0/
DCOL/2.46E-8/
STICK
UNITS： 修改单个单位，同气相反应
USRPROG： 用户自定义
YIELD： Ion-energy-dependent Yield
CF3+ + E + #WSIO2(B) => #SIO2 + CF3 0.33 0.0 0.0
BOHM !
YIELD /0.01 20. 0.5 1.0/ UNITS/EVOLTS/
用法：用#注释组分，4系数
国内有部分公司提供这个软件的培训，比如：
