2021年7月29日
等离子体技术【十六】--EUV激光器
摘要： 以下摘自《CO2激光驱动锡靶产生极紫外光源的实验研究》 一、EUV简介 在下一代光刻机光源的候选名单中，最受大家关注的是，离子体辐射极紫外光(EUV: extreme ultraviolet)，极紫外光刻技术能够使特征尺寸小到50nm以内。 某些靶材的等离子体辐射出EUV光，在某个波段会出现峰值，比 阅读全文
posted @ 2021-07-29 10:54 抱树的金鱼佬 阅读(4960) 评论(0) 推荐(0) 编辑