2021年7月22日
等离子体技术【十五】--自动阻抗匹配器--Smith圆图
摘要： 1、等VSWR圆 2、等Q圆 3、等虚部线 4、等阻抗圆/等电抗圆 阅读全文
posted @ 2021-07-22 18:29 抱树的金鱼佬 阅读(1044) 评论(0) 推荐(0) 编辑
等离子体技术【十五】--自动阻抗匹配器
摘要： 1、阻抗匹配的作用 高能量射频源被用于等离子体沉积和光刻过程中。在不同的生产过程中，等离子体室阻抗的变化十分复杂。为了提高集成电路品质,需要在工作期间保证等离子体均匀稳定。而有关实验证明，系统的输入功率直接影响等离子体的浓度和压力。因此，从功率角度来看，需要稳定系统的输入功率。换句话说，要保证等离子 阅读全文
posted @ 2021-07-22 09:41 抱树的金鱼佬 阅读(3226) 评论(0) 推荐(0) 编辑