摘要：
https://www.cnblogs.com/jinyulao/p/15009657.html，此贴介绍了使用DC电源的问题及现象，包括弧光放电、阳极消失、靶中毒。 以上问题均来自于：沉积介质薄膜时，若采用DC反应溅射，阳极表面逐渐被化合物覆盖，使接地电阻越来越高，直到完全被绝缘物覆盖，导致二次电 阅读全文
摘要：
摘自《真空镀膜技术》--张以忱 一、直流放电的特性 1、暗光放电（A点-B点）：开始给阴极施加负电压-->放电电流密度较小，仅为10^-16到10^-14(A/cm2) 2、Townsend放电区（C点-D点）：电压继续增大，进入汤森放电区。 特点：电压受电源输出阻抗限制（DC电源的输出阻抗很高）而 阅读全文