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一、串扰与CEX 相位同步 CEX是多数射频电源的功能之一，它可减轻串扰，并消除与之相关的问题。通常又叫相位同步。该功能可与系统上的所有电源相匹配，与其波形相吻合,从而使所有的阴极始终处于同相状态 。 下图显示了在没有使用CEX时会出现的阴极之间的串扰，并产生波形的电位差。（摘自AE官网） 如AE公 阅读全文
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摘自《等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用》2.3.4 远程等离子源也称为远程高密度等离子发生器，它是半导体、芯片制造过程中的核心装备。它用离化后的氟来清洗沉积在芯片结构内部的硅粉尘。在半导体、芯片等制程中，随着时间的增加，在芯片内部和表面都会沉积大量的硅粉尘。远程等离子源能够提供大量离化氟 阅读全文