2021年7月10日
等离子体技术【三】--放电与频率的关系
摘要： 一、为什么射频电源频率是10MHz以上？ 摘自《真空镀膜技术》--张以忱，3.7.1 答：采用射频技术在基片上沉积绝缘薄膜的原理为：将负电位加在置于绝缘靶材背面的导体上，在辉光放电的等离子体中，正离子向导体板加速飞行，轰击其前置的绝缘靶材使其溅射。 但是这种溅射只能维持10-7s的时间，此后在绝缘靶 阅读全文
posted @ 2021-07-10 19:32 抱树的金鱼佬 阅读(2268) 评论(0) 推荐(0) 编辑