等离子体技术【五】--电容耦合射频放电CCP

摘自《等离子体放电原理与材料处理》1.3.1

 

摘自《等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用》2.3.1

 

 

 

 

posted @ 2021-07-13 21:47  抱树的金鱼佬  阅读(2570)  评论(0)  编辑  收藏  举报