等离子体技术【四】--鞘层

摘自：《等离子体放电原理与材料处理》，Chapter 1

 

 

　　等离子体鞘层是指等离子体与器壁或电极接触时，在两者之间形成的过渡区。由于电子跑向器壁的速率比离子大得多，使绝缘器壁相对于等离子体具有负电位，有当到达绝缘器壁的电子流等于离子流时，达到准稳状态，这时器壁的电位约为粒子的动能的量级。