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摘要： 本章的内容主要参考了 SECS半导体设备通讯-4 GEM通信标准 ，外加上自己看的一些其他的文档。也加上了一些自己的理解，特此记录。若有侵权，请联系删除，谢谢。 再次特别感谢 SECS半导体设备通讯-4 GEM通信标准 的作者。 注意，本文只是对 GEM 协议有一个大概的了解，更加详细的介绍，还是需 阅读全文