半导体常用资料汇总
1、SEMI 相关协议
1.1、SECS/GEM 协议相关
SECS Message Code Generation Tool
汇总了SECS-II指令的含义以及部分语言的实现
secs 模拟器,比较好用
1.2、XML Schema Files
SEMI 协议中关于 XML Schema 的部分,这里我主要用到了 InterfaceA(EDA) 相关的,网页搜索:1105 和 0710
1.3、各种协议手册
汇总了很多协议手册,可以来这里找找
1.4、Mermaid 简介
https://mermaid.js.org/
Mermaid从入门到入土——Markdown进阶语法
Markdown画图及Mermaid入门
fsm
golang 有限状态机,可以结合 mermaid 生成可视化图形