2023年3月16日
大马士革工艺介绍
摘要： 一、 Al 布线 VS Cu布线 我们都知道，铜的导电性比铝好，而且我们的生活中的电线都是铜丝做的，那么为什么集成电路早期要用铝布线呢？ 这是因为铜与硅的接触电阻很高，而且铜容易扩散进入硅中，引起器件性能灾难。铝虽然导电性差一些，但它对二氧化硅有良好的粘附性，高纯度的硅有很低的接触电阻，而且容易干法 阅读全文
posted @ 2023-03-16 10:50 丁洪贞 阅读(1218) 评论(0) 推荐(0) 编辑