阿贝(Abbe)模型与霍普金斯(Hopkins)模型

OPC---阿贝(Abbe)模型与霍普金斯(Hopkins)模型

相同点

这两个模型都是用来计算晶圆上电场强度（即光强）分布

不同点

在阿贝模型中，入射到掩膜上不同角度的平面波经过掩膜后的衍射场需要根据掩膜后的衍射场需要根据实际情况来确定。
在霍普金斯模型中，入射到掩膜上不同角度的平面波经过掩膜后的衍射场相同，只是不同的衍射级次的光在广瞳面的坐标有一个偏移，因此霍普金斯的核心是“频谱平移不变性”。
霍普金斯模型假设的“频谱平移不变性”，可以使得光学系统的函数和表示掩膜的函数相独立，从而减少计算量，提高计算速度。

 

实际计算Hopkins 是近似计算求解光强，Abbe是严格计算的。Hopkins 是近似计算看作是很多加和，取前面的几项就可以很接近abbe(不可能100%进阶)，光学系统不变，mask变化，只需要计算mask 的函数部分就好。Abbe是严格计算的，mask变化整个计算光强的模型就需要计算一次。

类比数学思想：泰勒级数用来逼近很难计算的函数，abbe模型就是很难计算的那个函数，泰勒就是那个Hopkins近似。