基因测序芯片（Flowcell）加工工艺 -上海芯像生物

一、公司简介：
上海芯像生物科技有限公司成立于2017年，是一家从事基因检测和高通量测序相关产（仪器试剂、生信软件等）研发与产业化的高科技公司芯像致力于打造快速精准，低成本，高产出，集成化，自动化，智能化的分子检测平台，推动分子诊断和精准医疗技术的普及，为人类生命健康护航。
二、主流产品

三、专利检索
★专利检索1：

★专利：
CN112113906A-一种样本检测装置及其制造方法-芯像生物-2020
★测序芯片（Flowcell）类型：
互补金属氧化物半导体(CMOS)芯片
★加工工艺
1、一种半导体CMOS芯片，结构为图像传感器硅板-结合层-盖板硅板，具体为：
（1）应用：免疫荧光检测领域，如肝炎病毒、艾滋病毒等已知病原微生物检测
（2）原理：生物或化学物质样本被传送和固定在图像传感器芯片表面，样本所发出的荧光被图像传感器接受和检测，根据检测到的光信号强度和颜色可以判断生物或化学物质样本的相关信息。
（3）加工流程为：硅晶圆1清洗→光刻法制作图像传感器芯片阵列→盖板硅晶圆2打进出液孔（刻蚀或模压）→硅晶圆1/结合层/硅晶圆2三层对贴压紧→激光键合或阳极键合或热压键合→分切→CMOS芯片
（2）结合层材料：聚合物材料薄膜，如聚酰亚胺（PI）、聚二甲基硅氧烷（PDMS）、丙烯酸酯、聚酯、树脂等，厚度5-500um。
（4）图像传感器芯片单元2-1的上表面通常会经过一定的生物或化学处理，从而能够吸附流经表面的样本，以进行图像检测和分析。图像传感器芯片单元2-1通过类似TFT-LCD的SiN介电层+过度金属层形成开关，进行荧光信号检测。
（5）键合方式有两种：一是直接硅板-硅板激光键合或阳极键合。二是硅板-中间层-硅板热压键合。
★优劣势
外协加工

文章来源
网络、新闻采访、专利等公开信息，仅用于学习
文章由芯晨微纳（河南）光电科技有限公司搜集整理