摘要： 一、准分子激光概述 1.定义 准分子激光器源自 “excited dimer”一词，是高电压泵浦的气体激光，是一种波长在紫外波段的脉冲气体激光器。气体由惰性气体如氩氪等和活性气体如氯或氟。当电激发后，气体混合物在短时间聚成活跃态并发出紫外激光，有XeF、KeF、ArF、XeCl、KrCl、ArCl等 阅读全文

摘要： 一、我国激光制造研究取得系列突出成果 1.高端激光器基本依靠进口——中小功率超快激光器、大功率光纤激光、高重频紫外激光器打破国际垄断 2.缺乏原创新原理新方法 ——提出了超快激光电子动态调控制造新原理、新方法、新技术及其多尺度观测系统，首先实现了制造中局部瞬时电子动态的主动调控 3.装备落后于国外先 阅读全文